产品名称：设备安全联锁开关组件产品简介：用于半导体设备腔体门、防护罩、检修口等部位的安全联锁开关，确保设备在危险状态下无法启动，保障人员与设备安全。技术规格
- 开关类型：机械式 / 磁感应式
- 输出形式：常开 / 常闭干接点
- 操作力：≤20N
- 防护等级：IP65
- 工作电压：24VDC
- 使用寿命：≥100 万次动作功能特点
- 触发灵敏，动作可靠，无失效风险
- 结构坚固，抗冲击、抗振动
- 密封性能好，防尘、防油污、耐化学雾气
- 符合设备安全标准，故障安全型设计
- 安装位置灵活，适配各类腔体结构应用场景
- 真空腔体门、设备防护罩安全联锁
- 紧急停机、维护模式安全保护系统
- 半导体自动化设备人身安全防护装置
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 