AMAT 0020-30983

产品名称：腔体喷淋头气体均流板产品简介：安装于腔体喷淋头下方的气体均流部件，使工艺气体均匀分布至晶圆表面，提升薄膜沉积、刻蚀均匀性与良率。技术规格材质：高纯铝合...