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02-27
2026
产品名称:腔体喷淋头气体均流板产品简介:安装于腔体喷淋头下方的气体均流部件,使工艺气体均匀分布至晶圆表面,提升薄膜沉积、刻蚀均匀性与良率。技术规格材质:高纯铝合...