AMAT 0200-35113

产品名称：静电卡盘边缘保护环产品简介：安装在静电卡盘外围的保护与均流环，用于均匀电场、保护 ESC 边缘、改善晶圆边缘工艺均匀性，延长静电卡盘使用寿命。技术规格...