产品名称：静电卡盘边缘保护环产品简介：安装在静电卡盘外围的保护与均流环，用于均匀电场、保护 ESC 边缘、改善晶圆边缘工艺均匀性，延长静电卡盘使用寿命。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 / 碳化硅复合材料
- 尺寸精度：±0.01mm
- 耐温范围：-20℃～600℃
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 均匀电场分布，提升晶圆吸附稳定性
- 阻隔等离子体直接冲刷 ESC 边缘
- 降低晶圆边缘工艺偏差，提高良率
- 耐化学腐蚀、耐高低温冲击
- 标准化结构，互换性强应用场景
- 静电卡盘外围配套组件
- 导体 / 介质刻蚀、PVD 设备腔体
- 先进制程晶圆夹持与工艺稳定系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 