产品名称：高精度真空压力传感器组件产品简介：基于电容式传感原理的超高精度真空压力检测部件，用于半导体真空腔体、管路及气路系统的真空度实时监测，为制程控制提供精准压力数据。技术规格
- 传感器类型：电容式真空规
- 测量范围：0.001 Torr～1000 Torr
- 测量精度：±0.25% FS
- 响应时间：≤10ms
- 输出信号：4～20mA / 0～10V
- 接液材质：316L 不锈钢
- 工作温度：-40℃～85℃功能特点
- 长期稳定性优异，无零点漂移与温度漂移
- 抗电磁干扰能力强，适应复杂设备电磁环境
- 耐腐蚀，兼容各类腐蚀性工艺气体与等离子体环境
- 信号输出稳定，支持闭环压力自动控制
- 模块化设计，支持现场校准与快速更换应用场景
- PVD、CVD、Etch 设备腔体真空监测
- 真空传输腔、Load Lock 真空度检测
- 半导体前道制程真空控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 