AMAT 0100-90855

产品名称：旋转扫描运动控制主板产品简介：半导体工艺设备专用高精度运动控制核心电路板，负责晶圆传输、腔体扫描、旋转基座等精密运动的闭环控制与信号采集，是机台自动化...