产品名称：旋转扫描运动控制主板产品简介：半导体工艺设备专用高精度运动控制核心电路板，负责晶圆传输、腔体扫描、旋转基座等精密运动的闭环控制与信号采集，是机台自动化运行的关键控制单元，保障运动定位精度与连续运行稳定性。技术规格
- 基板材质：工业级高 Tg 多层 PCB，抗弯曲、耐温阻燃
- 控制通道：多轴独立驱动通道，支持步进 / 伺服电机联动
- 信号类型：数字量 + 模拟量混合输入输出，带光电隔离
- 工作环境：适配 Class 100 洁净室，工作温度 0–60℃，湿度 10%–90% 无冷凝
- 防护能力：抗电磁干扰 EMI/EMC，真空环境兼容功能特点
- 实时闭环转速与位置调节，定位误差极小
- 自带故障自检、过流 / 过压 / 过载保护与声光报警
- 信号全隔离传输，避免干扰导致工艺偏差
- 多轴同步协同驱动，支持连续 24 小时不间断运行
- 模块化设计，支持热插拔与快速更换应用场景
- 适配 Centura、Endura 系列 PVD/CVD/ 蚀刻 / 离子注入设备
- 用于晶圆传输机械手、旋转基座、腔体扫描机构、升降平台等精密运动控制
- 适用于 6 英寸 / 8 英寸 / 12 英寸晶圆生产线
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 