产品名称：工艺气体管路止回阀组件产品简介：安装在高纯工艺气路中的单向止回阀，防止气体倒流、污染与压力波动，保障气路安全稳定运行。技术规格
- 通径：1/4"～1/2"
- 材质：316L EP 不锈钢
- 密封：FFKM 全氟醚橡胶
- 工作压力：≤20 MPa
- 工作温度：-40℃～150℃
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s功能特点
- 单向密封可靠，无气体倒流
- 耐腐蚀，兼容各类危险工艺气体
- 低流阻、响应速度快
- 无死角设计，易于清洁
- 使用寿命长，免维护应用场景
- 半导体工艺气体输送管路保护
- CVD、刻蚀、掺杂设备气路防倒流
- 高纯特种气体安全控制系统
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 