产品名称：高纯气体精密调压阀组件产品简介：用于半导体超高纯工艺气路的精密调压阀，稳定输出气体压力，消除前端压力波动，保障制程稳定性与一致性。技术规格
- 阀体材质：316L EP 级电解抛光不锈钢
- 调压范围：0.05～1.0 MPa
- 稳压精度：±0.5% FS
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s
- 接口形式：1/4" VCR 面密封功能特点
- 压力调节精准，输出无波动
- 耐腐蚀，兼容各类腐蚀性与自燃性气体
- 零泄漏设计，满足半导体安全标准
- 超低死体积，无气体残留与交叉污染
- 结构紧凑，适合气路盘集成安装应用场景
- 硅烷、氨气、氟化碳类等特种气体输送
- CVD、Etch、ALD、离子注入设备气路稳压
- 实验室与量产线高纯气体控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 