产品名称：设备主控数字量输入输出板卡产品简介：半导体设备控制系统核心 I/O 板卡，负责现场数字信号采集、逻辑运算、指令输出与故障反馈，是整机自动化运行的关键部件。技术规格
- 输入：32 路光电隔离数字量输入
- 输出：16 路光电隔离数字量输出
- 工作电压：24 VDC
- 隔离电压：≥2500 Vrms
- 通信接口：RS485、Modbus
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 全通道光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 信号响应迅速，毫秒级执行设备动作
- 具备过流、过压、短路多重保护
- 支持热插拔，可在线维护与更换
- 故障自诊断，状态指示清晰应用场景
- 半导体刻蚀、沉积、清洗设备主控系统
- 真空阀、机械手、传感器信号采集与控制
- 设备安全联锁与报警控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0020-34587 