AMAT 0225-02861

产品名称：真空腔体气体喷淋头组件产品简介：CVD/PVD 腔体核心气体分布部件，用于工艺气体均匀喷射、流量均匀分配，保证晶圆表面薄膜厚度均匀性与工艺一致性。技术...