AMAT 0020-26101

产品名称：腔体屏蔽内衬组件产品简介：真空工艺腔内部防护内衬，用于隔离等离子体、防止腔壁腐蚀、吸收副产物、降低微粒污染，延长腔体寿命并稳定工艺重复性。技术规格材质...