AMAT 0021-23836

产品名称：腔体内部定位支撑基座产品简介：真空腔内部核心定位与支撑结构件，用于静电吸盘、加热基座、喷淋头的精准定位与稳定支撑，保证部件同轴度与平面度，确保晶圆工艺...