AMAT 0040-84051

产品名称：300mm 晶圆陶瓷加热基座产品简介：半导体工艺腔专用晶圆加热与支撑一体化部件，采用高纯陶瓷材质，为晶圆提供均匀稳定的温度场，保证薄膜沉积、氧化、退火...