AMAT 0190-36109

产品简介：半导体设备专用高精度灯源驱动控制模块，为工艺腔体内的光学检测、等离子体监测、晶圆定位灯组提供稳定驱动与精准调光控制，保障光学信号采集与工艺监测的稳定性...