产品简介：半导体设备专用高精度灯源驱动控制模块，为工艺腔体内的光学检测、等离子体监测、晶圆定位灯组提供稳定驱动与精准调光控制，保障光学信号采集与工艺监测的稳定性。技术规格
- 驱动类型：恒流 / 恒压双模式驱动，适配多种功率灯源
- 输出功率：0–500W 连续可调，精度 ±0.5%
- 控制接口：模拟 0–10V、数字 RS485 双接口，支持远程控制
- 响应时间：≤50ms，调光平滑无频闪
- 工作环境：温度 0–60℃，湿度 10%–90% 无冷凝，抗电磁干扰功能特点
- 高精度恒流输出，灯源亮度稳定无波动，保障检测精度
- 多重保护：过流、过压、过温、短路、开路全保护
- 支持 PWM 调光与模拟调光，适配不同工艺监测需求
- 低噪声、低纹波，不干扰光学信号采集
- 模块化设计，安装便捷，支持热插拔维护应用场景
- 应用材料 Endura、Centura 系列 PVD/CVD/ 蚀刻设备
- 晶圆定位、等离子体监测、光学终点检测灯源驱动
- 半导体工艺腔体内光学检测与实时监控系统
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 