AMAT 0190-35252

产品简介：半导体工艺腔体专用高精度温度控制单元，为腔体、加热基座、喷淋头等部件提供精准温度调节与闭环控制，保障工艺温度均匀性与稳定性，是高温工艺的核心控制部件。...