AMAT 0010-70166

产品简介：半导体晶圆传输系统专用存储与升降机构，用于晶圆盒暂存、高度定位、自动升降传输，实现晶圆在大气端与真空端之间高效稳定交接。技术规格存储槽位：15 槽标准...