产品简介：半导体晶圆传输系统专用存储与升降机构，用于晶圆盒暂存、高度定位、自动升降传输，实现晶圆在大气端与真空端之间高效稳定交接。技术规格
- 存储槽位：15 槽标准晶圆盒位
- 适用尺寸：200mm/300mm 晶圆兼容
- 定位精度：重复定位 ≤0.02mm
- 驱动方式：伺服电机 + 滚珠丝杠驱动
- 运行速度：0–100mm/s 连续可调
- 洁净等级：Class 100 洁净室适用功能特点
- 运行平稳无抖动，避免晶圆滑移、破损
- 高精度定位，保证与机械手对接准确
- 结构刚性强，长期运行无松动、无变形
- 自带零位、限位、防撞三重保护
- 模块化设计，拆装维护便捷应用场景
- P5000、Centura 系列设备前端模块
- 晶圆传输腔、真空锁、Load Lock 升降存储
- 8/12 英寸晶圆自动化生产线
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 