产品简介：真空腔体与外部控制系统的信号穿通密封部件，实现数字、模拟、热电偶、射频等多种信号在真空环境下稳定传输，同时保持腔体超高真空密闭性。技术规格
- 材质：316L 不锈钢外壳 + 陶瓷 / 聚酰亚胺绝缘
- 真空漏率：≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 针芯数量：12–24 芯多规格可选
- 绝缘电阻：≥10¹²Ω
- 工作温度：-40℃–300℃功能特点
- 信号传输无衰减、无干扰、无失真
- 超高真空密封，长期运行零泄漏
- 耐高温、耐等离子体、耐化学腐蚀
- 多芯集成，减少腔体开孔数量
- 标准化法兰接口，安装定位精准应用场景
- 真空腔体内部传感器信号引出
- 温度、压力、等离子体监测信号穿通
- PVD/CVD/ 蚀刻 / 离子注入设备真空信号传输
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 