产品简介：真空工艺腔体专用观察窗与防护结构，用于工艺过程实时观测、终点检测光学通路、等离子体状态观察，同时具备防腐蚀、防污染、耐高温功能。技术规格
- 窗片材质：高纯度石英 / 蓝宝石
- 透过波段：可见光 + 近红外高透过率
- 耐压性能：承受 1 个大气压压差
- 密封结构：金属密封 + 氟橡胶双重密封
- 表面处理：防污涂层，减少沉积物附着功能特点
- 高透光率，保证光学检测与目视观察清晰
- 耐等离子体冲刷、耐工艺气体腐蚀
- 不易附着副产物，清洁周期长
- 结构强度高，冷热冲击不开裂
- 安装密封可靠，无真空泄漏应用场景
- 蚀刻、沉积、清洗腔体观察窗
- 光学终点检测、等离子体监测光路
- 需实时观测工艺状态的真空腔体
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 