产品简介：超高真空系统专用真空规管驱动与信号处理单元，为皮拉尼、冷阴极、电容薄膜规提供稳定供电，并将真空度信号转换为标准信号输出。技术规格
- 兼容规管：皮拉尼、冷阴极、电容薄膜规
- 测量范围：1×10⁻¹⁰ Torr–1×10³ Torr
- 输出信号：4–20mA、0–10V、RS485
- 供电电压：24VDC
- 精度：±0.1% F.S.功能特点
- 自动识别规管类型，自动切换量程
- 温度补偿，长期测量稳定无漂移
- 抗干扰能力强，适应真空系统电磁环境
- 支持多点真空监测与报警输出
- 故障自诊断，方便维护排查应用场景
- 工艺腔体、传输腔、真空锁真空监测
- 半导体设备真空系统联锁保护
- 超高真空 UHV 环境实时监控
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 