产品简介：半导体特气系统专用高精度调压阀，用于工艺气体、载气、吹扫气体的压力稳定调节，保证气体输送压力恒定，确保流量控制精准。技术规格
- 材质：316L EP 级电解抛光不锈钢
- 调压范围：0.1–2.0MPa 连续可调
- 压力精度：±0.01MPa
- 适用气体：惰性、腐蚀性、易燃性气体
- 接口规格：1/4" VCR 高纯接头功能特点
- 压力调节平滑无脉动，保证流量稳定
- 低泄漏、低释气，满足超高洁净要求
- 耐化学腐蚀，适配危险工艺气体
- 结构紧凑，安装空间小
- 使用寿命长，免维护周期长应用场景
- 特气柜、VMB、MFC 前端压力调节
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入气路系统
- 12 英寸晶圆厂高纯气体管路
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 0200-08346 