产品简介：半导体设备核心安全保护单元，监控舱门、真空、急停、温度、气体泄漏等状态，异常时立即切断动力、触发报警，保障人员与设备安全。技术规格
- 输入通道：16 路安全信号输入
- 输出通道：8 路安全继电器输出
- 响应时间：≤1ms
- 隔离耐压：2500VAC
- 工作电源：24VDC 安全电源功能特点
- 符合半导体设备安全标准 SIL2 等级
- 急停、舱门、真空、过温多重联锁逻辑
- 断电安全位置保持，故障状态可锁定
- 实时状态反馈，故障点快速定位
- 冗余设计，单点故障不丧失保护能力应用场景
- 所有半导体工艺设备安全系统
- 真空腔体、机械手、高压、高温区域保护
- 工厂自动化安全联锁网络
AMAT 3750-01013 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 