产品简介：设备本地操作与状态显示单元，提供工艺参数监控、设备状态显示、手动操作、故障报警提示，是人机交互核心部件。技术规格
- 显示类型：高亮度工业液晶屏
- 接口：以太网、RS485、USB
- 工作温度：0–55℃
- 防护等级：前面板 IP54 防泼溅
- 供电：24VDC功能特点
- 高亮度显示，强光下可视
- 触控响应灵敏，操作流畅
- 支持多语言界面切换
- 抗干扰、防尘、适应设备现场环境
- 支持数据记录与报警历史查询应用场景
- 半导体设备主机操作面板
- 工艺参数监控、设备调试维护
- Centura、Endura 系列设备本地操作单元
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 