AMAT 0041-10824

产品名称：工艺腔体内衬屏蔽组件产品简介：半导体工艺腔体专用内衬部件，保护腔体壁免受等离子体冲刷、工艺气体腐蚀，减少副产物沉积，保障腔体洁净度与使用寿命。技术规格...