AMAT AM9090-00923IT

产品名称：涡轮分子泵控制驱动单元产品简介：半导体超高真空系统专用涡轮分子泵驱动控制部件，为分子泵提供稳定供电、转速控制、状态监测与故障保护，保障真空系统稳定运行...