产品名称：涡轮分子泵控制驱动单元产品简介：半导体超高真空系统专用涡轮分子泵驱动控制部件，为分子泵提供稳定供电、转速控制、状态监测与故障保护，保障真空系统稳定运行。技术规格
- 适配泵型：STP-301/451 系列涡轮分子泵
- 供电：三相 380VAC，功率 1.5–3kW
- 转速控制：0–72000rpm 连续可调，精度 ±100rpm
- 监测参数：转速、温度、振动、电流、真空度
- 通信接口：RS485 + 以太网，支持远程监控功能特点
- 软启动 / 软停止，减少机械冲击，延长泵寿命
- 实时状态监测，异常自动报警并保护
- 多重保护：过流、过温、振动超限、失速保护
- 支持泵组联动控制，适配复杂真空系统
- 长寿命设计，满足 24 小时连续运行应用场景
- 半导体工艺腔体、传输腔、真空锁真空系统
- 超高真空（UHV）环境抽气与维持
- 12 英寸晶圆厂涡轮分子泵控制系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 