产品名称：设备主控 I/O 扩展接口板产品简介：半导体设备控制系统核心 I/O 扩展单元，扩展主控系统数字量、模拟量输入输出通道，满足复杂设备多传感器、多执行器控制需求。技术规格
- 通道配置：64 路数字量输入 + 32 路数字量输出 + 16 路模拟量输入
- 信号类型：24VDC 开关量、4–20mA 模拟量、热电偶信号
- 隔离耐压：输入输出间≥1500VAC，光电隔离
- 响应时间：数字量≤1ms，模拟量≤10ms
- 工作温度：-10℃–70℃，湿度 5%–95% 无冷凝功能特点
- 高密度通道设计，满足复杂设备控制需求
- 全隔离设计，抗电磁干扰能力强
- 高速响应，保障控制实时性与准确性
- 支持热插拔，维护便捷，不影响设备运行
- 模块化设计，可灵活扩展通道数量应用场景
- Centura、Endura、P5000 系列设备主控系统
- 设备状态监测、工艺参数采集、执行机构控制
- 半导体设备自动化控制与安全联锁系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 