AMAT E-710K126X

产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：半导体射频等离子体工艺专用匹配网络控制单元，实时调节射频电源与腔体负载的阻抗匹配，保障等离子体稳定与功率高效传输。技术规...