产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：半导体射频等离子体工艺专用匹配网络控制单元，实时调节射频电源与腔体负载的阻抗匹配，保障等离子体稳定与功率高效传输。技术规格
- 工作频段：13.56MHz/2MHz/400kHz 多频段兼容
- 匹配响应：≤10ms，动态调节精度 ±1%
- 控制方式：自动 / 手动模式切换，0–10V 模拟量控制
- 输出信号：匹配状态反馈、故障报警输出
- 供电：24VDC，防护等级 IP20
- 工作温度：0–55℃，湿度 5–95% 无冷凝功能特点
- 自动快速阻抗匹配，功率传输效率≥95%
- 实时监测射频功率、电压、电流，数据无失真
- 多重保护：过功率、过压、失配、过温自动切断
- 抗等离子体强电磁干扰，信号稳定无漂移
- 模块化设计，兼容 Centura、Endura 全系列设备应用场景
- PECVD、ICP/RIE 蚀刻、等离子体清洗设备
- 射频功率闭环控制与工艺稳定性监测
- 12 英寸先进制程晶圆制造射频工艺系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 