产品名称：气体质量流量控制器（MFC）驱动模块产品简介：半导体特气系统专用 MFC 驱动控制单元，为气体质量流量控制器提供稳定供电、信号调理与控制输出，保障气体流量精准可控。技术规格
- 适配 MFC：主流品牌热式 / 压力式 MFC
- 输入信号：4–20mA、0–10V 模拟量控制信号
- 输出控制：MFC 驱动电流，精度 ±0.1%
- 供电：24VDC，功耗≤10W
- 隔离耐压：输入输出间 1500VAC 光电隔离
- 工作温度：-10℃–70℃，防护等级 IP20功能特点
- 信号高精度调理，流量控制精准稳定
- 全隔离设计，抗电磁干扰能力强
- 实时流量监测与反馈，支持闭环控制
- 故障自诊断，异常自动报警
- 体积紧凑，安装便捷，适配特气柜与 VMB应用场景
- 特气柜、VMB 阀门箱 MFC 控制
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入气路系统
- 12 英寸晶圆厂高纯气体流量控制系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 