产品名称：设备安全急停控制模块产品简介：半导体设备核心安全保护单元，监控急停按钮、安全门、安全光栅等状态，异常时立即切断动力、触发报警，保障人员与设备安全。技术规格
- 输入通道：16 路安全信号输入（急停、安全门、光栅）
- 输出通道：8 路安全继电器输出，触点容量 5A/250VAC
- 响应时间：≤1ms，联锁动作无延迟
- 隔离耐压：2500VAC，符合 SIL2 安全标准
- 工作电源：24VDC 安全电源
- 工作温度：-10℃–70℃，防护等级 IP20功能特点
- 符合半导体设备安全标准，安全等级高
- 急停、安全门、光栅多重联锁逻辑
- 断电安全位置保持，故障状态锁定可追溯
- 实时状态反馈，故障点快速定位
- 冗余设计，单点故障不丧失保护能力应用场景
- 所有半导体工艺设备安全系统
- 真空腔体、机械手、高压、高温区域保护
- 工厂自动化安全联锁网络
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 