产品名称：涡轮分子泵电源控制单元产品简介：半导体超高真空系统专用涡轮分子泵驱动控制部件，为分子泵提供稳定供电、转速控制、状态监测与故障保护，保障真空系统稳定运行。技术规格
- 适配泵型：主流涡轮分子泵系列
- 供电：三相 380VAC，功率 2–5kW
- 转速控制：0–72000rpm 连续可调，精度 ±100rpm
- 监测参数：转速、温度、振动、电流、真空度
- 通信接口：RS485 + 以太网，支持远程监控
- 保护功能：过流、过温、振动超限、失速、反转保护功能特点
- 软启动 / 软停止，减少机械冲击，延长泵寿命
- 实时状态监测，异常自动报警并保护
- 支持泵组联动控制，适配复杂真空系统
- 故障自诊断，快速定位问题，维护便捷
- 符合半导体设备安全标准，适配超高真空环境应用场景
- 半导体工艺腔体、传输腔、真空锁真空系统
- 超高真空（UHV）环境抽气与维持
- 12 英寸晶圆厂涡轮分子泵控制系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 