产品名称：静电吸盘（ESC）高压电源模块产品简介：半导体工艺设备专用静电吸盘高压供电单元，为静电吸盘提供稳定直流高压，实现晶圆静电吸附固定，保障工艺过程中晶圆位置精准稳定。技术规格
- 输出电压：0–5kV 连续可调
- 输出电流：0–10mA，稳定性 ±0.1%
- 电压精度：±0.5%，纹波≤50mV
- 控制方式：0–10V 模拟量控制 + RS485 数字控制
- 保护功能：过压、过流、短路、电弧检测保护
- 工作温度：0–55℃，防护等级 IP20功能特点
- 高压输出稳定，无波动、无尖峰，吸附力均匀
- 快速响应，吸附 / 释放时间≤100ms
- 电弧检测与抑制，保护晶圆与腔体安全
- 支持远程控制与状态监测，适配自动化系统
- 长寿命设计，满足 24 小时连续运行应用场景
- PVD、CVD、蚀刻、离子注入设备静电吸盘供电
- 200mm/300mm 晶圆静电吸附固定系统
- 先进制程晶圆制造工艺设备
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 