产品名称：真空手动控制目标 PCB 板产品简介：半导体真空设备专用手动控制电路板，用于真空系统手动操作、参数设置、状态监测与故障诊断，是设备调试与维护的核心控制部件。技术规格
- 处理器：工业级 32 位微控制器
- 存储：8MB Flash 程序存储，4MB SDRAM 运行内存
- 通信接口：RS485、CAN、以太网多路通信
- 输入输出：16 路数字量输入，8 路数字量输出，4 路模拟量输入
- 工作电压：24VDC，功耗≤15W
- 工作环境：温度 0–65℃，湿度 5–95% 无冷凝功能特点
- 支持真空系统手动 / 自动模式切换
- 实时显示真空度、压力、温度等关键参数
- 提供手动阀门控制、泵启停、联锁解除等操作
- 故障代码显示与诊断，快速定位问题
- 支持固件在线升级，兼容多代设备系统应用场景
- 半导体真空设备手动控制单元
- 工艺腔体、传输腔、真空锁调试与维护
- PVD/CVD/ 蚀刻 / 离子注入设备真空控制系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 