AMAT 0020-55519

产品名称等离子体约束屏蔽组件产品简介该部件是半导体工艺腔体内部核心防护与电场调控部件，主要用于约束等离子体分布、减少腔体内壁溅射损伤、稳定工艺电场环境，是刻蚀与...