产品名称等离子体约束屏蔽组件

产品简介该部件是半导体工艺腔体内部核心防护与电场调控部件，主要用于约束等离子体分布、减少腔体内壁溅射损伤、稳定工艺电场环境，是刻蚀与薄膜沉积设备中维持工艺稳定性的关键结构件。