产品名称：高纯气体过滤器组件产品简介：半导体特气系统专用高精度气体过滤部件，过滤工艺气体、载气、吹扫气体中的颗粒杂质，保障气体洁净度，是气路系统核心净化部件。技术规格
- 过滤精度：0.003μm，过滤效率≥99.9999%
- 适用气体：惰性、腐蚀性、易燃性气体兼容
- 材质：316L EP 级不锈钢，密封 Viton
- 接口规格：5/8" VCR 高纯接头
- 最大工作压力：1.0MPa，工作温度 - 20℃–80℃功能特点
- 超高精度过滤，满足半导体工艺超高洁净要求
- 低阻力、低压降，保障气体流量稳定
- 耐化学腐蚀，适配危险工艺气体
- 低释气、低泄漏，不污染气体
- 使用寿命长，免维护周期长应用场景
- 特气柜、VMB 阀门箱、MFC 前端气体过滤
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入气路系统
- 12 英寸晶圆厂高纯气体管路净化
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 