产品名称高精度机械定位支撑组件
产品简介该部件为半导体设备内部运动机构的高精度支撑与定位结构件，用于承载、导向、定位晶圆传输或腔体内部运动单元，保证设备在高速、高真空、高洁净环境下的重复定位精度与运行可靠性。
技术规格
- 主体材质：高强度不锈钢 / 航空铝合金
- 加工精度：平面度、平行度、同轴度均达亚微米级
- 表面处理：精密研磨、抛光、硬化处理
- 负载能力：适配中高负载运动机构
- 耐磨性能：低摩擦、低磨损，长寿命设计
- 真空兼容性：符合 UHV 超高真空标准，无油污、无杂质释放
功能特点
- 超高重复定位精度，保证设备长期稳定运行
- 高刚性、低形变，可承受频繁往复运动
- 耐磨、抗疲劳，大幅延长维护周期
- 结构紧凑，适配设备内部狭小空间安装
- 无松动、无异响，运行平稳可靠
- 标准化接口，可直接替换，通用性强
应用场景
- 半导体设备传输模块、升降机构、旋转机构
- 晶圆承载台、托盘定位、腔体门定位结构
- 刻蚀、沉积、离子注入、清洗设备内部运动单元
- 自动化晶圆处理平台、机械手辅助定位系统
- 适用于 200mm/300mm 晶圆生产线设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 