产品名称真空系统密封连接件
产品简介该部件为半导体设备真空管路与腔体接口的专用密封连接件，用于保证真空系统气密性、管路连接强度与流体 / 气体传输稳定性，是真空系统不漏气、不掉压的核心基础件。
技术规格
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯度镍基合金
- 密封形式：金属面密封 / 氟橡胶复合密封
- 耐压范围：高真空至中高压气体管路
- 工作温度：-40℃～250℃
- 表面粗糙度：Ra≤0.8μm，减少气体滞留与颗粒
- 尺寸规格：标准半导体设备接口尺寸
功能特点
- 超高密封性能，确保真空系统长期无泄漏
- 抗化学腐蚀，耐受工艺气体、清洗介质侵蚀
- 安装便捷，连接牢固，不易松动
- 低放气、低污染，满足高洁净工艺要求
- 抗振动、抗热冲击，适应设备启停循环
- 使用寿命长，大幅降低真空故障概率
应用场景
- 工艺气体输送管路、真空排气系统
- 反应腔体、真空泵、气体质量流量控制器接口
- 刻蚀、CVD、ALD、PVD 等工艺设备气路系统
- 半导体前道制造、先进封装设备真空系统
- 高洁净、高真空、强腐蚀气体环境
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 