产品名称射频匹配单元内部组件
产品简介该部件为射频电源与等离子体负载之间的匹配网络核心部件，用于调节阻抗、稳定射频功率传输、提升等离子体点火与维持效率，直接影响刻蚀与沉积工艺的均匀性与重复性。
技术规格
- 适用频率：13.56MHz 标准射频频段
- 功率范围：中低功率射频系统匹配
- 绝缘性能：高耐压、低损耗陶瓷绝缘结构
- 阻抗调节范围：覆盖典型等离子体负载阻抗区间
- 散热结构：高效散热设计，耐受长时间连续工作
- 电气连接：标准化射频接口，低驻波比
功能特点
- 快速实现阻抗匹配，提升射频能量利用率
- 稳定等离子体状态，减少熄火、异常放电
- 低损耗、低发热，提高设备能效
- 高绝缘、高可靠性，降低打火、击穿风险
- 结构紧凑，适配标准射频匹配器内部空间
- 长期使用参数漂移小，工艺一致性高
应用场景
- 等离子体刻蚀（Etch）设备射频系统
- 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
- 物理气相沉积（PVD）偏压 / 射频电源匹配
- 半导体晶圆处理、薄膜生长、表面改性设备
- 适用于 Centura、Producer 等主流工艺平台
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 