产品名称工艺气体流量控制模块配件
产品简介该部件为气体质量流量控制器（MFC）与工艺气路之间的关键配套组件，用于气体分流、稳压、过滤与接口转换，保障工艺气体以稳定、精准、洁净的状态进入反应腔体。
技术规格
- 适用气体：惰性气体、还原性气体、氧化性气体、腐蚀性工艺气体
- 材质：高纯度 316L EP/BA 级不锈钢
- 流道结构：内壁电解抛光，无死角、无滞留
- 耐压等级：高压气体管路标准
- 过滤精度：微米级颗粒过滤
- 接口形式：标准 VCR、Swagelok 等半导体气路接口
功能特点
- 保证气体流量稳定，无脉动、无波动
- 有效过滤微小颗粒，降低晶圆污染风险
- 抗腐蚀，兼容多种危险与腐蚀性工艺气体
- 流道光滑，气体置换速度快，减少交叉污染
- 密封可靠，无泄漏、无渗透
- 模块化设计，便于维护与更换
应用场景
- 半导体工艺气体输送、分配、控制系统
- 刻蚀、CVD、ALD、掺杂、清洗等工艺气路
- 气体质量流量控制器（MFC）前端 / 后端配套
- 高纯气体管道、特种气体输送系统
- 先进制程晶圆制造、光电器件工艺设备
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 