AMAT 0020-03004

产品名称腔体内部隔热防护组件产品简介该部件用于半导体高温工艺腔体内部，起到隔热、均热、阻挡热辐射、保护腔体外部结构与传感器的作用，是维持腔体温度场均匀、稳定的关...