AMAT 0020-90099

产品名称腔体顶部密封防护盖组件产品简介该组件是半导体工艺腔体顶部的密封与防护结构，用于封闭腔体上端开口、维持真空环境、阻挡等离子体与反应物外溢，同时保护顶部电极...