产品名称腔体顶部密封防护盖组件

产品简介该组件是半导体工艺腔体顶部的密封与防护结构，用于封闭腔体上端开口、维持真空环境、阻挡等离子体与反应物外溢，同时保护顶部电极、喷淋头与进气部件免受污染与物理损伤。