产品名称高压电气绝缘支撑件
产品简介该部件用于半导体设备高压供电、射频系统、等离子体电源部分，起到高压绝缘、机械支撑、结构固定的作用，防止高压打火、漏电、短路，保障设备电气安全。
技术规格
- 材质：高性能工程陶瓷 / 环氧树脂复合材料
- 绝缘强度：超高耐压，耐受直流 / 射频高压
- 机械强度：高抗压、高抗折、高抗冲击
- 耐热性：耐高温、耐老化
- 尺寸精度：严格配合高压电极结构
- 真空 / 洁净室兼容：无挥发、无粉尘
功能特点
- 优异高压绝缘性能，杜绝打火、击穿
- 机械支撑稳定，保证电极相对位置不变
- 耐高压、耐高频、耐电弧烧蚀
- 长期使用性能稳定，不老化、不变形
- 安装牢固，不松动、不位移
- 适用于强电场、高真空复杂环境
应用场景
- 射频电源、偏压电源、高压供电单元
- 等离子体刻蚀、PVD、PECVD 设备高压部件
- 静电吸盘（ESC）高压绝缘结构
- 半导体设备高压区与低压区隔离结构
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 