产品名称腔体观察窗防护组件
产品简介该部件为设备腔体光学观察、检测、监控窗口的防护结构，既保证光学信号正常透过，又能保护观察窗免受等离子体、反应物、粉尘污染与物理损伤。
技术规格
- 材质：高纯度石英 / 蓝宝石光学窗口
- 透光性能：宽光谱高透过率
- 结构：双层防护，可拆卸清洁
- 密封形式：高真空金属密封
- 耐等离子体性能：表面抗刻蚀处理
- 安装形式：法兰固定，高密封性
功能特点
- 保证光学检测、终点检测系统正常工作
- 有效阻挡等离子体与反应物污染窗口
- 高透光、低反射，不影响光学信号采集
- 高真空密封，不破坏腔体真空状态
- 易拆卸、易清洁，降低维护难度
- 抗冲击、抗热震，长期使用不易破裂
应用场景
- 等离子体工艺终点检测（Endpoint）系统
- 腔体光学监控、红外测温、光谱检测
- 刻蚀、沉积、清洗设备观察窗
- 需要实时光学监测的真空工艺腔体
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 