产品名称等离子体喷淋头 / 气体分布板

产品简介该部件安装于工艺腔体顶部，是工艺气体进入腔体后的均匀分布核心部件，通过精密微孔结构将气体均匀喷淋至晶圆表面，保证刻蚀、沉积等工艺的片内均匀性。