产品名称晶圆承载隔热基座组件

产品简介该部件为晶圆承载台（基座 / 吸盘）配套隔热结构件，安装在加热 / 冷却单元与晶圆支撑面之间，用于隔离温度、减少热量损耗、稳定晶圆表面温度，提升工艺温度均匀性。